黃山高采樣速率膜厚儀
在激光慣性約束核聚變實驗中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎,，因此如何對靶丸多個參數(shù)進行同步,、高精度,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關鍵問題。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊,，但針對本文實驗,，仍然無法滿足激光核聚變技術對靶丸參數(shù)測量的高要求，靶丸參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量，否則,，被破壞后的靶丸無法用于于下一步工藝處理或者打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù)，不同參數(shù)的單獨測量,，無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結構變化現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下、沒有統(tǒng)一的測量標準,。靶丸屬于自支撐球形薄膜結構,，曲面應力大、難展平的特點導致靶丸與基底不能完全貼合,，在微區(qū)內(nèi)可看作類薄膜結構白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的在線檢測和控制,。黃山高采樣速率膜厚儀
光具有傳播的特性，不同波列在相遇的區(qū)域,，振動將相互疊加,，是各列光波獨自在該點所引起的振動矢量和。兩束光要發(fā)生干涉,，應必須滿足三個相干條件,，即：頻率一致、振動方向一致,、相位差穩(wěn)定一致,。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強，而在另一些地方振動減弱,，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化,。任何干涉測量都是完全建立在這種光波典型特性上的。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅,。與激光光源相比,，白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內(nèi)，通常都很短,，更為重要的是,，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個典型的特征：即條紋有一個固定不變的位置，該固定位置對應于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強度具有最大值,，并通過探測該光強最大值，可實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量,。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強、穩(wěn)定性好且動態(tài)范圍大,、結構簡單,，成本低廉等優(yōu)點。因此，白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等基于白光干涉的光學測量技術在薄膜三維形貌測量,、薄膜厚度精密測量等領域得以廣泛應用。黃岡膜厚儀供應鏈白光干涉膜厚測量技術可以在不同環(huán)境下進行測量,。
干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學方法,，是一種高精度的測量技術。采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結構簡單,，成本低廉,，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強,，使用范圍廣等優(yōu)點,。對于大多數(shù)的干涉測量任務，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究干涉裝置中待測物理量引入的光程差或者是位相差的變化,，從而達到測量目的。光學干涉測量方法的測量精度可達到甚至優(yōu)于納米量級,，而利用外差干涉進行測量,，其精度甚至可以達到10-3nm量級[11]。根據(jù)所使用光源的不同,，干涉測量方法又可以分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類,。激光干涉測量的分辨率更高，但是不能實現(xiàn)對靜態(tài)信號的測量,，只能測量輸出信號的變化量或者是連續(xù)信號的變化,，即只能實現(xiàn)相對測量。而白光干涉是通過對干涉信號中心條紋的有效識別來實現(xiàn)對物理量的測量,，是一種測量方式，在薄膜厚度的測量中得到了廣泛的應用,。
開展白光干涉理論分析,，在此基礎詳細介紹了白光垂直掃描干涉技術和白光反射光譜技術的基本原理，完成了應用于靶丸殼層折射率和厚度分布測量實驗裝置的設計及搭建,。該實驗裝置主要由白光反射光譜探測模塊,、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊,、氣浮隔震平臺等幾部分組成,，可實現(xiàn)靶丸的負壓吸附、靶丸位置的精密調(diào)整以及靶丸360°范圍的旋轉(zhuǎn)及特定角度下靶丸殼層白光反射光譜的測量,?；诎坠獯怪睊呙韪缮婧桶坠夥瓷涔庾V的基本原理,建立了二者聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法，該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學厚度，利用白光垂直掃描干涉技術測量光線通過靶丸殼層后的光程增量,，二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù),。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的缺陷檢測和分析。
干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內(nèi)的厚度進行解算,，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象,。干涉法算法在于相位信息的提取,，借助多種復合算法通?？梢赃_到納米級的測量準確度,。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳，光學元件表面的不清潔,、光照度不均勻,、光源不穩(wěn)定、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],，使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影,，給后期處理帶來困難,。除此之外，干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本,，高精度的干涉儀往往較為昂貴。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對復雜薄膜結構的測量,。景德鎮(zhèn)膜厚儀定做價格
白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度測量。黃山高采樣速率膜厚儀
白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化,，從而得到被測物體的信息。它是在單色光相移干涉術的基礎上發(fā)展而來的,。單色光相移干涉術利用光路使參考光和被測表面的反射光發(fā)生干涉,，再使用相移的方法調(diào)制相位，利用干涉場中光強的變化計算出其每個數(shù)據(jù)點的初始相位,，但是這樣得到的相位是位于（-π,，+π]間，所以得到的是不連續(xù)的相位,。因此,，需要進行相位展開使其變?yōu)檫B續(xù)相位。再利用高度與相位的信息求出被測物體的表面形貌,。單色光相移法具有測量速度快,、測量分辨力高,、對背景光強不敏感等優(yōu)點。但是,，由于單色光干涉無法確定干涉條紋的零級位置,。因此,，在相位解包裹中無法得到相位差的周期數(shù),，所以只能假定相位差不超過一個周期,，相當于測試表面的相鄰高度不能超過四分之一波長[27],。這就限制了其測量的范圍，使它只能測試連續(xù)結構或者光滑表面結構,。黃山高采樣速率膜厚儀
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